fujikura閥RSB-8-2資料壓力控制方式是因為采用滾動膜片與計量膜合的伺服平衡方式，可以實現(xiàn)無塵室對應的精密的壓力調整的超精密減壓閥。無塵規(guī)格因為部品是不銹鋼及氟橡膠，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產生的雜質非常少。歧管安裝對應歧管連接配管可能。排氣口裝備因為排氣孔，溢流孔，可以連接排氣用配管；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。高精度可以實現(xiàn)感度0.1%F.S.，反復再現(xiàn)性±0.1%F.S.的高精度控制。.偉世德測控技術（天津）有限公司___fujikura閥RSB-8-2資料