基礎技術參數： 　　　　型 號： FUNCTION 564 n 行 程： X軸 500 mm Y軸 600 mm Z軸 400 mm ˉ 結構型式：活動橋式 ˉ 傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承 ˉ 長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm ˉ 機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺 ˉ 使用環境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h ˉ 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa ˉ 空氣流量：120 L/min – 140 L/min ˉ 整機尺寸(LWH)：1.2m X 1.4 m X 2.3 m ˉ 機臺承重：500 kg ，整機重量：850 Kg 空間測量精度：（2.80+L/300）μm