超純水是水中電解質幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質、微生物、微粒、有機物、溶解氣體降至很低程度，都是經過膜過濾或混合床等終端精處理的水。目前，我國電子工業部把工業超純水水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。目前，制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子（EDI）等工藝。在水質要求達10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進行組合搭配的方法來制取，例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。超純水已被廣泛運用于電子、電力，化工，電鍍，鍋爐補給，實驗室及醫藥等眾多領域。