壓電陶瓷平臺 
 SFS-120XY(WA) 中空型XY壓電陶瓷平臺 
產 品 說 明 
SFS-120XY(WA) 中空型XY壓電陶瓷平臺
l它是一種具有50 x 50mm 通孔的高精度定位平臺。
l它采用壓電陶瓷作為驅動器，并內置小位移傳感器。
l適用控制器為FINE-503。該控制器具有RS232C，GP-IB 和USB 接口。
l可以很容易地通過計算機，利用我們獨自開發的應用軟件SGEMCS，SGTERMS，SGSFSX 進行控制。
l此平臺是顯微鏡用移動臺，精密測量，表面結構分析，半導體測試裝置，精密掩模及半導體晶圓的調整；掃描型干涉儀，高分辨率圖像處理及生物系統等的理想選擇。
l不同類型的顯微鏡，有時其安裝方法也有所不同。
l在您垂詢時，請一定告知我們您所用顯微鏡的制造廠商名稱，型號以及物鏡型號。
l我們可以為您定做其它各種顯微鏡的連接用適配器。
壓電陶瓷平臺共有 3 個產品
名稱: SFS-120XY(WA) 中空型XY壓電陶瓷平臺
名稱: SFS 西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺
名稱: SFS-H 西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺—高速·高剛性型
 
壓電陶瓷制動器 
VSHPSt 150 帶內部預應力外殼的低電壓致動器（壓電陶瓷） 
 產 品 說 明  
帶內部預應力外殼的低電壓致動器（壓電陶瓷）
VSHPSt 150/14-10/… VS22
預應力=最大張力=400N
最大負載力：6000N
最大出力：4500N
在 1 mV噪聲的情況下致動器150/14-10/12 VS22的開環靈敏度：約為0.1nm 
類型                     最大行程        長度         電容           剛性          共鳴頻率
μm            mm          nF           N/μm            kHz 
HPSt 150/14-10/12 VS22    16/12           31          2.6            250              30
HPSt 150/14-10/25 VS22    32/25           44          5.2            120              20
HPSt 150/14-10/40 VS22    50/37           58