頂針／大力針／ＢＧＡ探針／梅花頭探針／平頭探針／ＦＣＴ本發明涉及一種測試探針裝置及其制造方法，尤其是一種構造簡單、制作容易、檢查時無接觸抵抗，可以提高檢查可靠性的測試探針裝置及其制造方法，其特征在于：在前述探針裝置的上側安裝了具有可以接觸被測物的接觸端子的探針部位，前述探針部位下端延伸出可以提供彈性力的彈簧部位并與其成為一體，使電流從被測物通到前述彈簧部位的下側。本發明的探針部位的下側與彈簧部位成為一體，構造簡單，制作容易，量測電流從探針部位直接進入彈簧部位而消除接觸抵抗，信號路徑短而提高檢查可靠性。